全自動KOH刻蝕清洗機
槽體名稱 材質 數量內 槽 尺 寸
槽體名稱 材質 數量內 槽 尺 寸
KOH PTFE 1 300WX500DX270H/mm
QDR QDR 1 300WX500DX270H/mm
QDR NPP 1 220WX220DX200H/mm
H2SO4 石英 1 220WX220DX200H/mm
IPA SUS316 石英 2 220WX220DX200H/mm
機臺尺寸 2500mmW*1490mmD*2000mmH
骨 架 方鋼噴塑處理 1套 40mmX40mm
外 殼 德國進口磁白PP板 1套 雕刻后組合焊接
門 型 式 正面作業區采用上下推拉門方式
管路系統 位于機臺下面后方,以節省空間
排 風 位于機臺后部，自動風門設計
照明有 2組QDR制程區(普通白光40W)、IPA制程區加裝防爆燈具(白光20W)
機臺底部 有廢液排放管 , 防漏盤結構及漏酸傳感器