產(chǎn)品型號 |
CS200 |
量程(N2) |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
( 0~1,2,3,5,10,20,50)SLM |
精度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
重復(fù)精度 |
±0.2% FS |
線性 |
±0.5% FS |
響應(yīng)時間 |
≤1sec |
閥類型 |
Normally Closed or Normally Open |
溫度系數(shù) |
Zero: ≤±0.05% F.S./℃;Span: ≤±0.1% F.S.℃ |
零點(diǎn)漂移指標(biāo) |
<0.6%F.S. per year without autozero |
表面粗糙度 |
25µinch |
工作環(huán)境溫度 |
(5~45)℃ |
數(shù)字信號接口 |
RS485 |
模擬流量輸出信號 |
0-5V和4-20mA |
模擬流量控制信號 |
0-5V和4-20mA |
電源要求 |
±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) |
電連接器 |
D sub 9 pins male,D sub 15 pins male |
工作壓差范圍 |
(0.05~0.35) Mpa(≤10slm)
(0.1~0.35) Mpa(>10slm) |
最大耐壓 |
3MPa |
漏率 |
1×10-9atm·cc / sec He(1×10-10 Pa·m3 / sec He) |
密封材料 |
氟橡膠Viton |
接頭尺寸 |
VCR1/4” M;M
SwagelokΦ3;SwagelokΦ6;Swagelok1/4”; |
重量 |
1kg |