七星華創 sevenstar 氣體質量流量控制器

產品類型

大流量型

流量量程

300slm,500slm,750slm,1000slm,1500slm,2000slm

產品精度

±2％F.S.

重復精度

±0.2% FS

線性

±1％F.S.

響應時間

≤10sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

耐壓

3MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

輸入輸出信號

(1~5)VDC,(4~20)mA

電源

±15V

閥類型

先導閥

溫度系數

- 無 -

零點飄移指標

- 無 -

電氣連接

D sub 15 pins Male

工作壓差范圍

(0.25～0.5) MPa （F.S.≤1000slm）

漏率

1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）

標準接頭形式

雙卡套1/2”(滿量程≤1000slm),雙卡套Φ10(滿量程=300slm),法蘭(根據用戶要求設計)

表面化學成分

- 無 -

表面粗糙度

- 無 -

抗電磁干擾

- 無 -

重量

6Kg